صنعت کی بصیرت|سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ میں گیس کی پاکیزگی کتنی اہم ہے؟

سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ میں ایک اچھی طرح سے-قائم اتفاق رائے غالب ہے: چپ کی کارکردگی کی اوپری حد ڈیزائن کے ذریعہ بیان کی جاتی ہے، جب کہ پیداواری پیداوار کی نچلی حد مواد کی پاکیزگی پر منحصر ہے۔

تصویر انٹرنیٹ سے لی گئی ہے۔

ویفر کی صفائی اور پتلی-فلم جمع کرنے سے لے کر اینچنگ اور ڈوپنگ تک، ایک 12-انچ کے ویفر کی پیداوار کے عمل میں 30 سے ​​زیادہ قسم کی پروسیس گیسیں شامل ہوتی ہیں، جن میں سائلین، امونیا، نائٹروجن ٹرائی فلورائیڈ، ٹنگسٹن ہیکسافلوورائیڈ، ہائیڈروجن کلورائیڈ اور زیادہ شامل ہیں۔ ہر گیس کو ری ایکشن چیمبر میں انتہائی اعلیٰ پاکیزگی پر پہنچایا جانا چاہیے۔

پی پی بی کی سطح (نمی، آکسیجن، ذرات) گیس پائپنگ میں داخل ہونے سے نجاست کا پتہ لگانا پتلی-فلم کے نقائص اور انٹرفیشل آلودگی کو متحرک کر سکتا ہے، جو براہ راست پیداواری پیداوار کو گھسیٹ سکتا ہے۔ مثال کے طور پر 3nm کے عمل کو لے کر، ہر ایک چپ کی قیمت سینکڑوں امریکی ڈالر ہے۔ پیداوار میں محض 1% کا اتار چڑھاؤ دسیوں ملین کے منافع کو ختم کرنے کے لیے کافی ہے۔

سیمی کنڈکٹر انڈسٹری کے اندر، "اعلی پاکیزگی" "پراسیس-تیار" کے مترادف نہیں ہے۔ اصل چیلنج پاکیزگی برقرار رکھنے میں ہے - آلودگی کو برقرار رکھنا-گیس کے منبع سے لے کر استعمال کے مقام (POU) تک پورے ترسیل کے راستے میں مفت گیس۔

اس کو حاصل کرنے کے لیے تین بنیادی تحفظات مل کر کام کرتے ہیں:

(1) مواد کا انتخاب: نلیاں اور والو باڈیز VIM+VAR ڈبل ریملیٹڈ 316L سٹینلیس سٹیل سے تیار کی جاتی ہیں تاکہ بنیادی مواد سے خارج ہونے والے عنصر کو کم سے کم کیا جا سکے۔

(2) سطح کی تکمیل: اندرونی سطح کی کھردری Ra 0.25 μm (10 μin.) سے کم یا اس کے برابر الیکٹرو پولشنگ (EP) ٹریٹمنٹ کے ساتھ ذرات کے آسنجن اور نمی جذب کو کم کرنے کے لیے۔

(3) ہرمیٹک سگ ماہی کی سالمیت: ہیلیم کے اخراج کی شرح 1×10⁻⁹ atm·cc/sec سے کم یا اس کے برابر بیرونی آلودگی کو مکمل طور پر روکنے کے لیے۔

VIGOR VUPS Ultra-ہائی پیوریٹی پروڈکٹ لائن SEMI معیارات کی تعمیل کرتے ہوئے گیس کی ترسیل کے مکمل سلسلے کا احاطہ کرتی ہے، بشمول VCR میٹل فیس-سیل کی متعلقہ اشیاء، ہائی-پیوریٹی ڈایافرام والوز اور دو-اسٹیج پریشر ریگولیٹرز۔

تمام پروڈکٹس کو جمع کیا جاتا ہے، ٹیسٹ کیا جاتا ہے اور شپمنٹ سے پہلے کلاس 100 کلین رومز میں ڈبل-بیگ ویکیوم-پیک کیا جاتا ہے۔ صارفین جو کچھ وصول کرتے ہیں وہ صرف انفرادی والوز نہیں ہوتے ہیں، بلکہ ایک مکمل پلگ-اور-انتہائی-اعلی پاکیزگی کی یقین دہانی کا نظام ہوتا ہے۔

VIGOR پروڈکٹس خاص گیس کی ترسیل کے نظام اور CVD/PVD گیس سپلائی پائپ لائنوں میں متعدد ویفر فیبس میں قابل اعتماد طریقے سے کام کر رہی ہیں، جو کہ اہم پراسیس گیسوں جیسے سائلین، نائٹروجن ٹرائی فلورائیڈ اور بوران ٹرائکلورائیڈ سے ہم آہنگ ہیں۔

سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ آلودگیوں کے خلاف ایک نہ ختم ہونے والی دوڑ ہے - اور VIGOUR کا مشن اس دوڑ کے لیے صاف ترین ممکنہ ابتدائی لائن کو یقینی بنانا ہے۔